展位号4.1H-F176

湖南红太阳光电科技有限公司

  湖南红太阳光电科技有限公司成立于2009年,是一家专业从事光伏装备研发制造、光伏系列产品生产和销售的高新技术企业,是中电科电子装备集团有限公司的全资子公司。

  公司运用自产光伏装备拉通了500MW的光伏产业链,并延伸到电子材料和光伏应用系统的研发和生产。公司具备光伏全产业链整线交钥匙工程建设能力,在主要产品领域拥有百余项自主知识产权和核心技术。公司将通过不懈的开拓创新,积极进取,逐步跻身行业领军企业。



 M82200-9/UM型PECVD

  概述

  M82200-9/UM型PECVD采用直接式等离子沉积方式,可生产出质量极佳的晶体硅太阳能电池减反射涂层,是目前晶硅太阳能电池行业中管径和单管产能最大的管式镀膜设备。

  设备特点

  1. 420mm口径石英管,4管产能≥1800片/小时(单管308片/批);

  2. 300-600°C温度调节范围,满足镀氮化硅膜和硅片退火工艺要求;

  3. 自带N20(笑气)管路和操作软件,具有抗PID工艺;

  4. 优秀的工艺效果,镀膜均匀性片内≤±3%,片间≤±3%,批间≤±2%;

  5. 全自动上下舟系统,一键全自动工艺和完善的保护报警功能。

  技术指标

  1. 成膜种类:氮化硅;

  2. 装片尺寸及装片量:156x156mm方片,308片/批;

  3. 成膜均匀性:片内≤3%,片间≤3%,批间≤2%(膜厚80nm,折射率大于2.04);

  4. 温度控制范围:300~600℃;

  5. 恒温区长度及精度:±2℃/1370mm(500℃);

  6. 温度控制稳定性:≤±2℃/4h(450℃)

  7. 系统极限真空:3Pa;

  8. 工作压力范围和精度:50Pa~300±5Pa(闭环控制);

  9. 系统漏气率:停泵关阀后压力升率<1Pa/min;

  10. 设备功率:峰值功率≤280KVA,保温功率约100KVA(4管)。



实施效果